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《西安家产大学 》2012年硕士论文

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《西安家当大学
》2012年硕士论文

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金属/介质膜系光电特性的研究

 

【摘要】:金属薄膜是光学薄膜的重要构成部门,跟着质料科学、真空技能与薄膜财富的成长,金属薄膜已遍及应用于光电薄膜器件中。可是由于超薄金属薄膜与持续金属薄膜的光学常数相差很大,而金属薄膜的光学常数不易获得,在膜系设计中只能以块状金属的光学常数来取代,使得金属/介质膜系理论设计与制造特性很难保持一致,本文以办理金属/介质膜系理论设计与制造特性一致性为本课题的研究目标。 本课题主要从Maxwell方程出发,阐明白影响超薄金属薄膜光学常数n、k的各类因素,获得了膜层厚度影响金属薄膜光学常数的理论依据,阐明白金属薄膜电导率σ的尺寸效应,并通过尝试举办了验证;回收电阻热蒸发和电子束加热的要领制备了差异厚度的金属Ag、Cr、Cu薄膜,由椭圆偏振法检测,Drude模子拟合获得了差异厚度Cu膜、Cr膜、Ag膜光学常数n、k随波长λ的变革纪律,获得了超薄金属薄膜与块状金属的光学常数相差较大,跟着薄膜厚度的增加,n、k值趋近于块状金属结论;阐明获得了膜层厚度对金属薄膜透射光谱的影响纪律;通过膜层厚度对金属薄膜接收、色散等光学特性的影响阐明,发明持续金属薄膜在可见光波段对长波的接收较大,并且对比于介质薄膜平均色散率高10/nm~102/nm量级;在已获得的金属薄膜光学常数n、k基本上,回收金属/介质膜系的设计理论设计了满意指标的金属/介质减反射膜系与金属/介质透明导电膜系G/0.5ZrO2/0.5ZnS/0.003Ag/0.5ZnS/0.7SiO2/Air,通过尝试制备和样品检测可知,波长在450nm~700nm范畴内,金属/介质减反射膜系与金属/介质透明导电膜系的制备特性相对付理论设计平均反射率相差1%,平均透过率相差2%,所以设计获得的金属/介质膜系光电理论特性与制造特性根基一致。


《西安家当大学
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